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型号 CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3
使真空依赖型工艺的效率和性能 大化：选择布鲁克斯仪器的 XacTorr® 系列数字式真空电容压力计。XacTorr® 系列设备同时拥有各种业内 的功能技术，可提升测量可靠性、 大限度减少漂移、耐隔膜污染并能够使热效应 小化。
进的 Mark-IV 传感器提供不用于压力测量的表面区域 – 可用于累积颗粒和可压缩蒸汽。因此减少了仪表重新调零的工作、延长了传感器寿命并且不会带来传感器漂移风险。此外，还有快速响应传感器可供选择，用于提供高 闭环控制性能。
结果：超精确、可重复并且**的真空度测量，可确保每次对仓室压力进行抽真空时都能够准确使其达到工艺所需的目标 Torr 值以实现洁净、无污染生产。